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RTS-SEMR

RTS- SEMR拉曼-電鏡聯(lián)用光譜測(cè)試系統(tǒng)

RTS- SEMR拉曼電鏡光譜系統(tǒng)集成場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡與拉曼光譜系統(tǒng)于一體，是一款真正意義上實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)拉曼光譜與掃描電鏡聯(lián)用的設(shè)備。拉曼電鏡通過(guò)快速、精確、高性能的拉曼分析，彌補(bǔ)了能譜儀、波譜儀等傳統(tǒng)電鏡附件無(wú)法實(shí)現(xiàn)的分子結(jié)構(gòu)與成分觀察。尤其是針對(duì)有機(jī)結(jié)構(gòu)、碳結(jié)構(gòu)、同分異構(gòu)體、晶體與無(wú)機(jī)相等多領(lǐng)域材料的信息表征，擴(kuò)展了傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡的分析應(yīng)用領(lǐng)域，例如礦物鑒別、高分子與制藥行業(yè)、鋰電行業(yè)、醫(yī)工交叉行業(yè)等，應(yīng)用前景廣闊。
 
 
 
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產(chǎn)品概述
拉曼電鏡光譜聯(lián)用技術(shù)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
 
掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品，實(shí)現(xiàn)對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。具有景深大、分辨率高，成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測(cè)樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。拉曼技術(shù)在分子級(jí)別上提供樣品的化學(xué)結(jié)構(gòu)、組分信息；而 SEM 可在納米尺度上提供高空間分辨率的形貌圖像；SEM與拉曼光譜技術(shù)相結(jié)合，使用 SEM 觀察樣品形貌，并可獲取指定樣品點(diǎn)的拉曼光譜信息，同步獲取樣品材料表面形貌、分子結(jié)構(gòu)與化學(xué)組分等信息。
 
典型應(yīng)用
 
RTS- SEMR拉曼電鏡光譜系統(tǒng)
 
北京卓立漢光儀器有限公司全新推出的RTS- SEMR拉曼電鏡光譜系統(tǒng)集成場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡與拉曼光譜系統(tǒng)于一體，是一款真正意義上實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)拉曼光譜與掃描電鏡聯(lián)用的設(shè)備。拉曼電鏡通過(guò)快速、精確、高性能的拉曼分析，彌補(bǔ)了能譜儀、波譜儀等傳統(tǒng)電鏡附件無(wú)法實(shí)現(xiàn)的分子結(jié)構(gòu)與成分觀察。尤其是針對(duì)有機(jī)結(jié)構(gòu)、碳結(jié)構(gòu)、同分異構(gòu)體、晶體與無(wú)機(jī)相等多領(lǐng)域材料的信息表征，擴(kuò)展了傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡的分析應(yīng)用領(lǐng)域，例如礦物鑒別、高分子與制藥行業(yè)、鋰電行業(yè)、醫(yī)工交叉行業(yè)等，應(yīng)用前景廣闊。
北京卓立漢光儀器有限公司推出的掃描電鏡-拉曼光譜聯(lián)用裝置采用“離軸”模式設(shè)計(jì)理念。“離軸”模式掃描電鏡的電子束與拉曼光譜的激光束不同軸,通過(guò)移動(dòng)樣品臺(tái)分別進(jìn)行掃描電鏡-能譜分析和顯微拉曼光譜分析，原位獲取樣品指定位置的形貌信息和化學(xué)成分信息。
 
RTS-SEMR 拉曼電鏡聯(lián)用光譜系統(tǒng)架構(gòu)
RTS- SEMR拉曼電鏡光譜系統(tǒng)，電鏡擁有大視野及納米級(jí)分辨率，是一個(gè)樣品微觀形貌分析平臺(tái)，系統(tǒng)耦合拉曼共聚焦光路進(jìn)入真空樣品倉(cāng)，實(shí)現(xiàn)了樣品在電子束和激光束之間的快速切換，在滿足樣品表征觀察的同時(shí)，也能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)分辨率的化學(xué)成分和空間結(jié)構(gòu)分析，充分發(fā)揮掃描電鏡與拉曼兩者的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。
 

 
拉曼集成掃描電子顯微鏡采用平行雙束方案，搭載高精度復(fù)合位移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)樣品在拉曼光軸和電子束光軸之間快速、精確、穩(wěn)定的切換，拉曼掃描范圍高達(dá)2.5 mm。
獨(dú)特的系統(tǒng)及產(chǎn)品設(shè)計(jì)保證了操作性、易用性、普適性，用戶可在電鏡中尋找感興趣的材料特征，得到高分辨的掃描結(jié)果后，一鍵切換至拉曼光路下進(jìn)行該區(qū)域的快速/高精度的光譜掃描，隨后得到高匹配程度的拉曼渲染聯(lián)用效果。
拉曼渲染結(jié)果的像素與光譜數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)關(guān)系可通過(guò)軟件程序直接提取，提供進(jìn)行便捷的結(jié)果解析。
 
拉曼光譜集成方案提供了多種配置供用戶選擇，例如激光波長(zhǎng)、光譜儀焦長(zhǎng)、光柵密度、物鏡等光學(xué)核心配置，充分滿足應(yīng)用及市場(chǎng)的需求。
 
掃描式電子顯微鏡系統(tǒng)配置多種類型探測(cè)器，可實(shí)現(xiàn)二次電子和背散射電子同時(shí)成像，兼容多種應(yīng)用模式，可覆蓋生命科學(xué)、材料科學(xué)、地質(zhì)科學(xué)等多學(xué)科科研應(yīng)用場(chǎng)景。
標(biāo)配五軸高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及自主設(shè)計(jì)樣品載臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)多個(gè)釘臺(tái)同時(shí)放樣或單一大尺寸樣品觀測(cè)。
 
性能優(yōu)勢(shì)
 
· 高靈敏度,高空間分辨率
· 寬行程納米壓電臺(tái),單幀大視野
· SEM+Raman深度耦合,統(tǒng)一操作界面
· 國(guó)產(chǎn)自主,核心技術(shù)正向研發(fā)
· 平行聯(lián)用方案高精度樣品臺(tái)
· 一鍵切換光路高效聯(lián)用成像
· 軟件提取數(shù)據(jù)圖像直接解析
· 定制化配置滿足市場(chǎng)多樣化需求
典型參數(shù)

 

激光波長(zhǎng)

532nm（＞100mW）

拉曼頻移范圍

60-6000cm-1@532nm

光譜分辨率

<1cm-1

信噪比

>20:1

空間分辨率

橫向分辨率:<500nm@532nm 激光

縱向分辨率:<2um@50um 針孔，532nm 激光；

＜1um@10um 針孔，532nm 激光

光譜儀

500 mm 焦長(zhǎng)，Czerny-Turner 式全自動(dòng)切換

光譜CCD探測(cè)器

2000*256 像素，背照式深耗盡芯片，QE>90%，可見(jiàn)近紅外專用

光學(xué)物鏡

NA=0.9, WD=10mm, 10X

白光源

鹵素?zé)?

樣品臺(tái)

類型：步進(jìn)電機(jī)+壓電陶瓷

掃描范圍：2.5mm*2.5mm

 

整機(jī)電鏡

FE-SEM F4000

FE-SEM F6000

電子槍

肖特基熱場(chǎng)發(fā)射式電子槍

肖特基熱場(chǎng)發(fā)射式電子槍

分辨率

0.9nm@30kV

1.4nm@15kV

1.0 nm@30 kV

1.2nm@15kV

1.5 nm@l kV(減速模式)

加速電壓

0.02-30kv

0.02-30kv

束流

1pA~40nA

5 pA~30 nA (200 nA可選)

放大倍數(shù)

1x~1,000,000x(底片放大倍數(shù),1~15x光學(xué)放大)

1x~1,000,000x(底片放大倍數(shù),1~15x光學(xué)放大)

工作環(huán)境要求

溫度20±3/℃；濕度≤80%

工作電壓AC220V、50/60Hz

最大功耗4500W